Die in unserer Gesellschaft wachsende Nachfrage nach leistungsstarken und langlebigen Materialien hat zu einer zunehmenden Entwicklung von Beschichtungssystemen geführt. Hierbei zählen Polysilazane zu den am meisten untersuchten Beschichtungsmaterialien, da sie eine starke Haftung auf zahlreichen unterschiedlichen Substratmaterialien aufweisen, sowie die Möglichkeit bieten, maßgeschneiderte Eigenschaften für eine Vielzahl von Anwendungen zu erzielen. In dieser Dissertation wird eine einfache, kostengünstige Herstellungsmethode Polysilazan-basierter Beschichtungen vorgestellt, welche als schützende, leicht zu reinigende und korrosionsbeständige Schicht, in den Bereichen Automobil und Transport, Architektur und Bauwesen, sowie in industriellen Anlagen Anwendung finden. Ein typisches Spin-Coating-Verfahren mit anschließendem Feuchtigkeitshärten unter Umgebungsbedingungen wird verwendet, um Polysilazan-Beschichtungen mit einer industriell präferierten Schichtdicke (5–7 μm) zu erhalten. Sechs verschiedene Polysilazan-Schichten werden systematisch untersucht, um Aufschluss über die Zusammenhänge zwischen Aushärtungsverhalten, Schichtbildung und den daraus resultierenden Beschichtungseigenschaften zu erhalten. Die Molekularstruktur der Polysilazane ist ausschlaggebend für deren Vernetzungseigenschaften und Vernetzungskinetik und beeinflusst daher die Leistung der Beschichtung. Ein intuitiver Leitfaden für die Auswahl anwendungsbezogener Polysilazane wird bereitgestellt. Obwohl die Feuchtigkeitshärtung bei realen Anwendungen von Vorteil ist, dauert die Vernetzung von Filmen aus Organopolysilazan (OPSZ) bei Raumtemperatur oft länger als bei anderen Härtungsmethoden. Zwei Ansätze wurden entwickelt, um die Feuchtigkeitshärtung zu erleichtern. Beim ersten Ansatz lässt sich die Aushärtezeit der OPSZ mit Hilfe des nukleophilen Katalysators Tetrabutylammoniumchlorid (TBAC) von 19 auf 1 Stunde verkürzen. Durch die Verwendung des Katalysators werden 1,6-mal mehr Si–H und Si–NH Gruppen hydrolysiert und die Anzahl an Si–O–Si Gruppen in der OPSZ-Beschichtung wird verdoppelt. Die deutlich erhöhte Vernetzungsrate und der erhöhte Vernetzungsgrad führen zur Bildung eines dichten und glatten Films mit doppelter Härte und vierfachem Elastizitätsmodul verglichen mit der nicht katalysierten Beschichtung. Beim zweiten Ansatz wird vor dem Beschichtungsverfahren hochvernetztes Bor-modifiziertes OPSZ (BOPSZ) durch Reaktion von OPSZ mit Borandimethylsulfid-Komplex hergestellt. Die daraus resultierende BOPSZ Beschichtung weist neben einer verbesserten Feuchtaushärtungsgeschwindigkeit und einem stärkerem Vernetzungsgrad auch eine höhere Hydrophobie mit einem Kontaktwinkel von 101,1° im Vergleich zur OPSZ Beschichtung mit 88,7° als Kontaktwinkel auf. Dadurch wird eine verbesserte Korrosionsbeständigkeit gegen HCl erzielt. Polysilazan-Beschichtungen mit herausragender Oberflächenhärte, hoher Hydrophobie und bemerkenswerter chemischer Stabilität wurden bei Raumtemperatur mit deutlich verringerter Prozessdauer erfolgreich hergestellt. Des Weiteren wird die thermische Stabilität sowie die Polymer-Keramik-Transformation eines mit Bor-modifizierten Perhydropolysilazans experimentell und theoretisch untersucht. Die Zugabe von Bor führt zur Bildung starrer B–N Bindungen, welche die atomare Bewegung von Stickstoff im ternären Si–B–N einschränken. Auf diese Weise wird die Kristallisation von amorphem Siliziumnitrid unterdrückt und die thermische Stabilität erhöht. Hierdurch ist ein erster Grundstein zur Entwicklung keramischer SiBN-Beschichtungen z. B. als Wärmedämmschicht gelegt.