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Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings

Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Oehr, C. :
Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings.
In: International Symposium on Plasma Chemistry <1999, Praha>: Proceedings. Hrsg.: M. Hrabovsky .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1999)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1999
Autor(en): Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Oehr, C.
Titel: Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings
Sprache: Englisch
Reihe: International Symposium on Plasma Chemistry <1999, Praha>: Proceedings. Hrsg.: M. Hrabovsky
Fachbereich(e)/-gebiet(e): FB Materialwissenschaft (aufgegangen in FB11)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
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