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Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings

Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Oehr, C. (1999)
Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 1999
Autor(en): Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Oehr, C.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 1999
Reihe: International Symposium on Plasma Chemistry <1999, Praha>: Proceedings. Hrsg.: M. Hrabovsky
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Disperse Feststoffe
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften)
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:23
Letzte Änderung: 19 Jul 2018 08:26
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