Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Oehr, C. (1999)
Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
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Erschienen: | 1999 |
Autor(en): | Hegemann, Dirk ; Riedel, R. ; Oehr, C. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Plasma deposition of hard and thermal resistant SiBCN coatings |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1999 |
Reihe: | International Symposium on Plasma Chemistry <1999, Praha>: Proceedings. Hrsg.: M. Hrabovsky |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Disperse Feststoffe 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Fachbereich Materialwissenschaft (1999 aufgegangen in 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften) |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:23 |
Letzte Änderung: | 19 Jul 2018 08:26 |
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