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Silicon microphones: an overview

Fischer, Marc ; Sessler, Gerhard M. :
Silicon microphones: an overview.
In: Forum acusticum <2, 1999, Berlin>: Joint Meeting Berlin 99 - ASA (Acoustical Society of America) EAA (European Acoustics Association) DAGA; Collected papers; Paper No. 2aEA1. - Stuttgart: Hirzel, 1999 . Hirzel , Stuttgart
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1999)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1999
Autor(en): Fischer, Marc ; Sessler, Gerhard M.
Titel: Silicon microphones: an overview
Sprache: Deutsch
Reihe: Forum acusticum <2, 1999, Berlin>: Joint Meeting Berlin 99 - ASA (Acoustical Society of America) EAA (European Acoustics Association) DAGA; Collected papers; Paper No. 2aEA1. - Stuttgart: Hirzel, 1999
Ort: Stuttgart
Verlag: Hirzel
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:22
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