Diese Arbeit beschreibt die ersten Schritte der Erforschung der Volloxid-Technologie für eine Anwendung in Hochfrequenz- (HF-)Varaktoren. Dabei wird die Platin- Bodenelektrode von herkömmlichen ferroelektrischen Varaktoren mit dem hochleitfähigen Strontium-Molybdän-Oxid (SMO) ersetzt. Dessen strukturelle Ähnlichkeit mit dem ferroelektrischen Barium-Strontium-Titanat (BST) ermöglicht das Überwinden der gravierendsten Nachteile des herkömmlichen Ansatzes: Eine erhöhte Defektkonzentration in BST und das Ausbilden einer unsteuerbaren Grenzschicht am Platin-BST-Übergang. In volloxidischen Varaktoren wächst ein idealer BSTKristall epitaktisch auf der SMO-Bodenelektrode anstatt des polykristallinen BST auf Platin. Da zuvor kaum Informationen über integrierte SMO-BST-Schichtsysteme berichtet wurden, ist die HF-Charakterisierung und Materialparameterbestimmung ein wesentlicher Bestandteil dieser Arbeit. Das erste wichtige Ergebnis ist dabei die Erweiterung des Frequenzbereichs einer weit verbreiteten On-Wafer-Teststruktur vom unteren GHz-Bereich bis zu ihrer Selbstresonanzfrequenz. Dies ermöglicht die korrekte Extraktion der Varaktorimpedanz im gesamten gewünschten Frequenzbereich und ist fundamental für eine umfassende Modellierung. Hierdurch konnte der Abscheideprozesses optimiert werden, was entscheidend dazu beitrug, hochperformante Varaktoren herzustellen. Diese zeichnen sich durch die Kombination bisher unerreichter SMO- und BST-Schichtdicken aus, die jeweils dicker als 5μm und dünner als 50nm sind. Der Schwerpunkt dieser Arbeit liegt auf hochgenauen analytischen Modellen. Vorhandene Modelle sind nicht genau genug für Dünnschichtschaltungen mit Elektroden, die dünner als die Skintiefe sind. Ein neues Modell wird vorgestellt, das den signifikanten Beitrag des Substrats berücksichtigt. Es beachtet den Einfluss aller maßgeblichen Materialeigenschaften und erlaubt damit die Extraktion der tatsächlichen HF-Eigenschaften des Varaktors. Die erreichte hohe Genauigkeit ermöglicht die Erweiterung zu einem Modell, das zusätzlich die elektrische Vorspannung mit einbezieht. Letztere führt zu induzierter Piezoelektrizität in BST, wodurch akustische Wellen im Modell berücksichtigt werden müssen. Das elektro-akustische Modell folgt der tatsächlichen Varaktorimpedanz in einem weiten Frequenz- und Vorspannungsbereich bis zu jeweils 12GHz und 100V/μm. Dadurch ermöglicht es die Extraktion von sowohl elektrischen als auch mechanischen Eigenschaften des integrierten Varaktors, die lediglich eine einfache On-Wafer-Messung benötigt. Dies eröffnet einerseits die Möglichkeit einer präzisen Modellierung von hochperformanten Schaltungen. Andererseits ermöglicht es die Evaluierung des Potentials von volloxidischen Varaktoren und deren Optimierung, um die gravierende Frequenzbeschränkung von herkömmlichen Varaktoren durch akustische Resonanzen zu überwinden. Zum Schluss der Arbeit wird der Transfer hin zur industriellen Realisierung der Volloxid-Technologie thematisiert. Reproduzierbarkeit und Gleichförmigkeit der Proben werden als unzureichend identifiziert, was die potentiellen Nachteile der verwendeten gepulsten Laserabscheidung (engl.: pulsed laser deposition, PLD) bestätigt. Weiterhin wird die Abscheidung eines funktionalen Varaktors auf industriell etablierten Silizium-Substraten demonstriert. Schließlich wird die Integrierbarkeit der neuen volloxidischen Varaktoren in Schaltungen gezeigt, und zwar in zwei Konfigurationen; sowohl als ein eigenständiges oberflächenmontierbares Bauteil (engl.: surface-mount device) als auch mittels integriertem Wachstum innerhalb eines beispielhaften Phasenschiebers. Eine herausragende Performanz der volloxidischen Technologie wird nach zwei zukünftigen Entwicklungen ermöglicht. Einerseits ist der Wechsel auf eine andere Abscheidemethode als PLD empfohlen, um reproduzierbar eine hohe Materialqualität auf außerdem größeren Substraten zu erreichen. Daneben zeigt das Dotieren von BST eine signifikante Verbesserung der Materialgüte und eine schwächere akustische Anregung. Dies erweitert den Anwendungsfrequenzbereich erheblich über die Grenzen von herkömmlichen ferroelektrischen Varaktoren hinaus und prognostiziert niedrige Verluste von volloxidischen Geräten bis oberhalb des gesamten 5G sub-6 GHz-Frequenzbereichs.