Mahlouji, Reyhaneh ; Zhang, Yue ; Verheijen, Marcel A. ; Hofmann, Jan P. ; Kessels, Wilhelmus M. M. ; Sagade, Abhay A. ; Bol, Ageeth A. (2021)
On the Contact Optimization of ALD-Based MoS2 FETs: Correlation of Processing Conditions and Interface Chemistry with Device Electrical Performance.
In: ACS Applied Electronic Materials
doi: 10.1021/acsaelm.1c00379
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2021 |
| Autor(en): | Mahlouji, Reyhaneh ; Zhang, Yue ; Verheijen, Marcel A. ; Hofmann, Jan P. ; Kessels, Wilhelmus M. M. ; Sagade, Abhay A. ; Bol, Ageeth A. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | On the Contact Optimization of ALD-Based MoS2 FETs: Correlation of Processing Conditions and Interface Chemistry with Device Electrical Performance |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 28 Juni 2021 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | ACS Applied Electronic Materials |
| DOI: | 10.1021/acsaelm.1c00379 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung |
| Hinterlegungsdatum: | 06 Jul 2021 06:40 |
| Letzte Änderung: | 06 Jul 2021 06:40 |
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