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Projection objective

Walser, Reinhold ; Schicketanz, Thomas (2014)
Projection objective.
Norm, Patent, Standard, Bibliographie

Typ des Eintrags: Norm, Patent, Standard
Erschienen: 2014
Autor(en): Walser, Reinhold ; Schicketanz, Thomas
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Projection objective
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2 Dezember 2014
Ort: Oberkochen
Patent-Nummer: US 8,902,406
Alternatives oder übersetztes Abstract:
Alternatives AbstractSprache

A projection objective, such as for EUV lithography, for imaging a pattern arranged in an object plane into an image plane with the aid of electromagnetic radiation from the extreme ultraviolet range is provided. The projection objective includes a plurality of mirrors provided with reflective coatings and arranged between the object plane and the image plane. At least one of the mirrors includes a graded reflective coating with a rotationally-asymmetric coating thickness profile in the mirror plane on a substrate with a rotationally-asymmetric or rotationally-symmetric surface profile. The projection objective can exhibit increased overall transmission.

Englisch
Zusätzliche Informationen:

Searchable via Untied States Patent and Trademark Office

Fachbereich(e)/-gebiet(e): 05 Fachbereich Physik
05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik
05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik > Theorie kalter Quantengase, Quantenoptik, Technische Optik
05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik > Theoretische Quantendynamik
05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik > Theoretische Quantenphysik
Hinterlegungsdatum: 15 Jun 2021 06:55
Letzte Änderung: 06 Jul 2022 09:48
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