Walser, Reinhold
Hrsg.: Carl Zeiss SMT GmbH (2016)
Projektionsobjetiv.
Norm, Patent, Standard, Bibliographie
Kurzbeschreibung (Abstract)
[DE] Um die Gesamttransmission eines Projektionsobjektivs insbesondere für die EUV-Lithographie zu erhöhen, wird ein Projektionsobjektiv (7) zur Abbildung eines in einer Objektebene (5) angeordneten Musters in eine Bildebene (9) mit Hilfe von elektromagnetischer Strahlung (3) aus dem extremen Ultraviolettbereich (EUV), wobei zwischen der Objektebene (5) und der Bildebene (9) mehrere mit Reflexbeschichtungen versehene, abbildende Spiegel (M1–M8) angeordnet sind und wobei mindestens einer der Spiegel (M1–M8) eine gradierte Reflexbeschichtung aufweist, vorgeschlagen, bei dem die gradierte Reflexbeschichtung einen elliptischen, parabolischen oder hyperbolischen Schichtdickenverlauf aufweist.
| Typ des Eintrags: | Norm, Patent, Standard |
|---|---|
| Erschienen: | 2016 |
| Autor(en): | Walser, Reinhold |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Projektionsobjetiv |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | 30 Juni 2016 |
| Ort: | Oberkochen |
| Patent-Nummer: | DE 10 2009 047 179 B4 |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | [DE] Um die Gesamttransmission eines Projektionsobjektivs insbesondere für die EUV-Lithographie zu erhöhen, wird ein Projektionsobjektiv (7) zur Abbildung eines in einer Objektebene (5) angeordneten Musters in eine Bildebene (9) mit Hilfe von elektromagnetischer Strahlung (3) aus dem extremen Ultraviolettbereich (EUV), wobei zwischen der Objektebene (5) und der Bildebene (9) mehrere mit Reflexbeschichtungen versehene, abbildende Spiegel (M1–M8) angeordnet sind und wobei mindestens einer der Spiegel (M1–M8) eine gradierte Reflexbeschichtung aufweist, vorgeschlagen, bei dem die gradierte Reflexbeschichtung einen elliptischen, parabolischen oder hyperbolischen Schichtdickenverlauf aufweist. |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 05 Fachbereich Physik 05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik 05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik > Theorie kalter Quantengase, Quantenoptik, Technische Optik 05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik > Theoretische Quantendynamik 05 Fachbereich Physik > Institut für Angewandte Physik > Theoretische Quantenphysik |
| Hinterlegungsdatum: | 15 Jun 2021 06:39 |
| Letzte Änderung: | 06 Jul 2022 09:48 |
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