Beschichtungen aus diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC) sind amorphe Dünnschichten mit diamantähnlichen Eigenschaften und daher bestens für die Reduzierung von Reibung und Verschleiß in tribologischen Systemen geeignet. Eine verringerte Verschleißrate erlaubt eine verlängerte mittlere Laufzeit eines Systems. Allerdings kann ein adhäsives Versagen der DLC Schicht zu einem sofortigen Versagen der Applikation führen. Insbesondere Druckeigenspannungen innerhalb der DLC-Schicht sind Triebkräfte für Delamination der Dünnschichten. Um das Risiko für adhäsives Versagen einschätzen zu können, ist es allgemein anerkannt, dass die Haftung der Beschichtung die essentielle Größe des Schichtsystems ist. Allerdings wird in dieser Arbeit gezeigt, dass die Initiierung und der Fortschritt von Schichtdelaminationen bei DLC-Schichten auf unterschiedlichen Spannungssituationen beruhen. Dies ist besonders relevant für Schichtsysteme mit ausgedehnten Haftschichtsystemen. Für eine verlässliche Risikobewertung für adhäsives Versagen muss das Zusammenspiel zwischen Initiierung und Voranschreiten der Delamination berücksichtigt werden. Zu diesem Zweck wird der Begriff Haftungsperformance eingeführt, als systemische Größe, die von den Applikationsbedingungen abhängt und Initiation, sowie Fortschritt der Delamination berücksichtigt. Um ein Model für die Hatungsperformance zu erstellen, wurde das Model von Evans und Hutchinson, das auf dem Buckling eines Euler-Stabs beruht, erweitert durch eine Betrachtung der Initiation des Bucklings, sowie das Reinitiieren, nachdem ein Schichtsegment nach dem Buckling ausgebrochen ist, wobei ein charakteristischer Riss zurückbleibt und ein Rissfortschritt unter gewissen Bedingungen durch Korrosion vorangetrieben werden kann. Schließlich wird auch thermische Alterung betrachtet, motiviert durch erhöhte Anwendungstemperaturen, die Diffusionsprozesse aktivieren können, die zu einer Verschlechterung der Haftungsperformance führen können. Eine Routine zur Bewertung der Haftungsperformance wurde entwickelt, basierend auf den drei Aspekten Delaminationsinitiierung, Buckling und Reinitiierung der Delamination, vervollständigt durch den Einfluss von thermischer Alterung auf die Haftungsperformance. Dieser Ansatz wurde auf neun verschieden Haftschichtsysteme für H-haltige und H-freie DLC-Schichten angewandt. Die untersuchten Haftschichtsysteme bestehen aus metallischen Cr- und Ti-Haftschichten mit verschiedenen Karbidzwischenschichten, wie CrxCy, TiC und SiC, teilweise mit Variationen in der Prozessführung. Die Schichtsysteme wurden umfangreich mittels Transmissionselektronenmikroskopie untersucht, um strukturelle Merkmale, sowie Phasenzusammensetzungen mit der Haftungsperformance korrelieren zu können. Ein Konzept für adäquate Haftungsperformance für Anwendungen im Automobilbereich mit Stahlsubstraten und erhöhten Einsatztemperaturen wurde außerdem abgeleitet, basierend auf den Ergebnissen dieser Arbeit.