Giere, A. ; Schafranek, Robert ; Zheng, Yuliang ; Maune, Holger ; Sazegar, Mohsen ; Jakoby, Rolf ; Klein, Anja (2020)
Characterization of Acoustic Effects in Ferroelectric Thin-Films for Microwave Components.
In: Frequenz, 2008, 62 (3-4)
doi: 10.25534/tuprints-00013399
Artikel, Zweitveröffentlichung, Verlagsversion
Kurzbeschreibung (Abstract)
In this paper we present the impact of acoustic resonances excited by electrostriction in BST thin-films on the Q-factor of a varactor in the GHz range. By changing the process-parameter substrate to target distance while sputtering the thin-films, we observe a change in the acoustic resonance frequencies. To characterize the material properties which determine the acoustic resonance frequencies a model based on a 1D acoustic transmission line is used. The extracted material properties results in a proportional dependency to the changed process parameter. For verification of the acoustic transmission line model 3D simulations have been performed which show good agreement to the line model for lower resonance frequencies, where the difference at higher frequencies becomes significant due to additional higher order modes.
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2020 |
| Autor(en): | Giere, A. ; Schafranek, Robert ; Zheng, Yuliang ; Maune, Holger ; Sazegar, Mohsen ; Jakoby, Rolf ; Klein, Anja |
| Art des Eintrags: | Zweitveröffentlichung |
| Titel: | Characterization of Acoustic Effects in Ferroelectric Thin-Films for Microwave Components |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2020 |
| Publikationsdatum der Erstveröffentlichung: | 2008 |
| Verlag: | De Gruyter |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Frequenz |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 62 |
| (Heft-)Nummer: | 3-4 |
| DOI: | 10.25534/tuprints-00013399 |
| URL / URN: | https://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/13399 |
| Zugehörige Links: | |
| Herkunft: | Zweitveröffentlichungsservice |
| Kurzbeschreibung (Abstract): | In this paper we present the impact of acoustic resonances excited by electrostriction in BST thin-films on the Q-factor of a varactor in the GHz range. By changing the process-parameter substrate to target distance while sputtering the thin-films, we observe a change in the acoustic resonance frequencies. To characterize the material properties which determine the acoustic resonance frequencies a model based on a 1D acoustic transmission line is used. The extracted material properties results in a proportional dependency to the changed process parameter. For verification of the acoustic transmission line model 3D simulations have been performed which show good agreement to the line model for lower resonance frequencies, where the difference at higher frequencies becomes significant due to additional higher order modes. |
| Status: | Verlagsversion |
| URN: | urn:nbn:de:tuda-tuprints-133993 |
| Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikatin (DDC): | 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 600 Technik 600 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften > 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Mikrowellentechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) |
| Hinterlegungsdatum: | 30 Nov 2020 13:55 |
| Letzte Änderung: | 29 Sep 2023 09:30 |
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