Cesar, Julijan ; Paul, Sujoy ; Gierl, Christian ; Küppers, Franko (2015)
Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten.
SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten. Stuttgart, Germany (18.06.2015-18.06.2015)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Konferenzveröffentlichung |
|---|---|
| Erschienen: | 2015 |
| Autor(en): | Cesar, Julijan ; Paul, Sujoy ; Gierl, Christian ; Küppers, Franko |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Optimierung der Abscheideparameter für PECVD Prozesse durch Messung der optischen Eigenschaften der Schichten |
| Sprache: | Deutsch |
| Publikationsjahr: | Juni 2015 |
| Veranstaltungstitel: | SENTECH Seminar: Ellipsometrie und Reflektometrie zur Charakterisierung dünner Schichten |
| Veranstaltungsort: | Stuttgart, Germany |
| Veranstaltungsdatum: | 18.06.2015-18.06.2015 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Terahertz Sensors Group |
| Hinterlegungsdatum: | 24 Apr 2020 08:27 |
| Letzte Änderung: | 02 Jul 2020 11:51 |
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