In dieser Arbeit werden Varaktoren entwickelt, die als steuerbare Komponenten in schnellen Hochleistungs-Anpassnetzwerken bei 13.56MHz eingesetzt werden sollen. Steuerbare Anpassnetzwerke finden ihre Anwendung vor allem in der Prozessierung mikro- und nanoelektrischer Schaltungen und gewinnen an Bedeutung durch deren steigende Integration. In diesem Zusammenhang werden die limitierten Steuerzeiten der eingesetzten Vakuum-Varaktoren von mehr als 1ms zunehmend zu einem Problem. Bisher war die Substitution der Vakuum-Varaktoren durch Feststoffvaraktoren vor allem durch die höheren dielektrischen Verluste Letztgenannter erschwert. Aufgrund der steigenden Anforderungen an die Varaktorsteuerzeiten, wird jedoch ein Austausch der vakuumbasierten Varaktoren unumgänglich. Feststoffe, die sich als Dielektrikum in Hochleistungsvaraktoren einsetzen lassen, finden sich vor allem in der Gruppe der Ferroelektrika. Hier nimmt Barium Strontium Titanat (BST) als hochsteuerbares, niedrigverlustbehaftetes Mischkristallsystem eine spezielle Rolle ein. Die Kapazität eines BST basierten Varaktors wird durch Anpassung der Permittivität unter Belastung eines DC Steuerfeldes eingestellt. Die dadurch induzierte Piezoelektrizität stellt ein maßgebliches Problem für den Einsatz unter Hochleistung dar. Als Folge entstehen akustische Schwingungen im Material, die lokal den elektrischen Gütefaktor vermindern. In dieser Arbeit werden sowohl neuartige, vollgedruckte BST Dickschicht-, als auch Vollkeramikvaraktoren entwickelt und in Bezug auf ihre Hochleistungseignung in steuerbaren Anpassnetzwerken bewertet. Es zeigt sich, dass der Einsatz dickschichtbasierter Varaktoren unter Hochleistung bis mindestens 1kW grundsätzlich möglich ist. Durch akustische Optimierung der Varaktoren kann bei Eingangsleistungen von bis zu 1kW eine Verminderung der Verlustleistung um 63% von 37.1W auf 13.5W erzielt werden, bei gleichzeitiger elektrischer Steuerbarkeit von 18%. Die hergestellten Varaktoren werden hinsichtlich ihrer Steuerzeit charakterisiert und mit weniger als 1.5μs für den Kapazitätsbereich C(0V) bis C(120V) gemessen. Vollkeramiken werden in Form zylindrischer Pellets, integriert mit Platinenmaterial zu Varaktormodulen, für den Hochleistungseinsatz vorgestellt. Ein Komposit, bestehend aus BST und einem verlustarmen, nicht steuerbaren, magnesiumbasierten Metalloxiddielektrikum stellt sich als besonders geeignet heraus, durch seine Eigenschaft akustisch nur bis in den einstelligen MHz Bereich aktiv zu sein. Die Machbarkeit wird jedoch an einem temperaturstabilisierten Varaktormodulprototyp auf Basis eines kommerziellen Dielektrikums gezeigt. Bei einer Eingangsleistung von 700W wird eine Steuerbarkeit von 12% gemessen und ein relativer Verlust von 1.8%, unabhängig von Eingangsleistung und Steuerspannung. Darüber hinaus wird eine minimale Steuerzeit von weniger als 1.2μs für den Bereich C(0 V) bis C(1.1 kV) gemessen.