Burg, T. P.
Hrsg.: Brand, O. ; Dufour, I. ; Heinrich, S. ; Josse, F. (2015)
Devices with embedded channels.
In: Resonant MEMS: fundamentals, implementation, and application
Buchkapitel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Buchkapitel |
|---|---|
| Erschienen: | 2015 |
| Herausgeber: | Brand, O. ; Dufour, I. ; Heinrich, S. ; Josse, F. |
| Autor(en): | Burg, T. P. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Devices with embedded channels |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2015 |
| Ort: | Weinheim, Germany |
| Verlag: | Wiley |
| Buchtitel: | Resonant MEMS: fundamentals, implementation, and application |
| Reihe: | Advanced Micro and Nanosystems |
| URL / URN: | https://books.google.de/books?id=8Fl\_BwAAQBAJ |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Integrierte Mikro-Nano-Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 17 Jun 2019 08:19 |
| Letzte Änderung: | 17 Jun 2019 08:19 |
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