Savran, C. A. ; Sparks, A. W. ; Sihler, J. ; Li, Jian ; Wu, Wan-Chen ; Berlin, D. E. ; Burg, T. P. ; Fritz, J. ; Schmidt, M. A. ; Manalis, S. R. (2002)
Fabrication and characterization of a micromechanical sensor for differential detection of nanoscale motions.
In: Journal of Microelectromechanical Systems, 11 (6)
doi: 10.1109/JMEMS.2002.805057
Artikel, Bibliographie
URL / URN: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2002.805057
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 2002 |
| Autor(en): | Savran, C. A. ; Sparks, A. W. ; Sihler, J. ; Li, Jian ; Wu, Wan-Chen ; Berlin, D. E. ; Burg, T. P. ; Fritz, J. ; Schmidt, M. A. ; Manalis, S. R. |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Fabrication and characterization of a micromechanical sensor for differential detection of nanoscale motions |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 2002 |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 11 |
| (Heft-)Nummer: | 6 |
| DOI: | 10.1109/JMEMS.2002.805057 |
| URL / URN: | https://doi.org/10.1109/JMEMS.2002.805057 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Integrierte Mikro-Nano-Systeme |
| Hinterlegungsdatum: | 17 Jun 2019 08:14 |
| Letzte Änderung: | 06 Dez 2021 12:57 |
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