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Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection

Burg, Thomas P. ; Mirza, Amir R. ; Milovic, Nebojsa ; Tsau, Christine H. ; Popescu, George A. ; Foster, John S. ; Manalis, Scott R. (2006)
Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection.
In: Journal of Microelectromechanical Systems, 15 (6)
doi: 10.1109/JMEMS.2006.883568
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2006
Autor(en): Burg, Thomas P. ; Mirza, Amir R. ; Milovic, Nebojsa ; Tsau, Christine H. ; Popescu, George A. ; Foster, John S. ; Manalis, Scott R.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 2006
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of Microelectromechanical Systems
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 15
(Heft-)Nummer: 6
DOI: 10.1109/JMEMS.2006.883568
URL / URN: https://doi.org/10.1109/JMEMS.2006.883568
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Integrierte Mikro-Nano-Systeme
Hinterlegungsdatum: 17 Jun 2019 08:12
Letzte Änderung: 17 Jun 2019 08:12
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