Boden, Jana ; Bächmann, Knut ; Kotz, Ludwig ; Fabry, Lazlo ; Pahlke, Siegfried (1995)
Application of capillary zone electrophoresis with an isotachophoretic initial state to determine anionic impurities on as-polished silicon wafer surfaces.
In: Journal of chromatography A, 696 (2)
doi: 10.1016/0021-9673(94)01227-6
Artikel, Bibliographie
| Typ des Eintrags: | Artikel |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Autor(en): | Boden, Jana ; Bächmann, Knut ; Kotz, Ludwig ; Fabry, Lazlo ; Pahlke, Siegfried |
| Art des Eintrags: | Bibliographie |
| Titel: | Application of capillary zone electrophoresis with an isotachophoretic initial state to determine anionic impurities on as-polished silicon wafer surfaces |
| Sprache: | Englisch |
| Publikationsjahr: | 1995 |
| Verlag: | Elsevier |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of chromatography A |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: | 696 |
| (Heft-)Nummer: | 2 |
| DOI: | 10.1016/0021-9673(94)01227-6 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 07 Fachbereich Chemie 07 Fachbereich Chemie > Eduard Zintl-Institut > Fachgebiet Anorganische Chemie 07 Fachbereich Chemie > Eduard Zintl-Institut |
| Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 15:55 |
| Letzte Änderung: | 16 Jul 2024 07:56 |
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