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Focused ion beam in situ lift-out of 2% Al-doped ZnO (AZO) thin films fabricated by pulsed laser deposition with a JEOL-JIB 4600F System

Molina-Luna, Leopoldo ; Kunz, Ulrike ; Dürrschnabel, Michael ; Thybusch, Brunhilde ; Saini, S. ; Mele, P. ; Kleebe, Hans-Joachim (2014)
Focused ion beam in situ lift-out of 2% Al-doped ZnO (AZO) thin films fabricated by pulsed laser deposition with a JEOL-JIB 4600F System.
9 th FIB Workshop 2014 D-A-CH Arbeitskreis FIB. ETH Zürich (23.06.2014-24.06.2014)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Typ des Eintrags: Konferenzveröffentlichung
Erschienen: 2014
Autor(en): Molina-Luna, Leopoldo ; Kunz, Ulrike ; Dürrschnabel, Michael ; Thybusch, Brunhilde ; Saini, S. ; Mele, P. ; Kleebe, Hans-Joachim
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Focused ion beam in situ lift-out of 2% Al-doped ZnO (AZO) thin films fabricated by pulsed laser deposition with a JEOL-JIB 4600F System
Sprache: Englisch
Publikationsjahr: 23 Juni 2014
Ort: Zürich
Veranstaltungstitel: 9 th FIB Workshop 2014 D-A-CH Arbeitskreis FIB
Veranstaltungsort: ETH Zürich
Veranstaltungsdatum: 23.06.2014-24.06.2014
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Elektronenmikroskopie
11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Physikalische Metallkunde
Hinterlegungsdatum: 10 Jan 2019 13:25
Letzte Änderung: 15 Sep 2021 08:09
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