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Selective area growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy

Aller, Ingo ; Hartnagel, H. L. :
Selective area growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy.
In: Journal of electronic materials. 25 (1996), S. 421-424
[Artikel], (1996)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1996
Autor(en): Aller, Ingo ; Hartnagel, H. L.
Titel: Selective area growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy
Sprache: Englisch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: Journal of electronic materials. 25 (1996), S. 421-424
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:20
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