Aller, Ingo ; Hartnagel, H. L. (1996)
Selective area growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy.
In: Journal of electronic materials. 25 (1996), S. 421-424
Artikel, Bibliographie
Typ des Eintrags: | Artikel |
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Erschienen: | 1996 |
Autor(en): | Aller, Ingo ; Hartnagel, H. L. |
Art des Eintrags: | Bibliographie |
Titel: | Selective area growth of InP by plasma assisted solid-source epitaxy |
Sprache: | Englisch |
Publikationsjahr: | 1996 |
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: | Journal of electronic materials. 25 (1996), S. 421-424 |
Fachbereich(e)/-gebiet(e): | 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrowellenelektronik |
Hinterlegungsdatum: | 19 Nov 2008 16:20 |
Letzte Änderung: | 20 Feb 2020 13:31 |
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