| Typ des Eintrags: |
Artikel
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| Erschienen: |
1998 |
| Autor(en): |
Conradi, T. ; Hubenthal, F. ; Röll, K. ; Stobiecki, T. ; Thoma, K. ; Berg, G. ; Broszeit, E. ; Bauer, S. ; Bock, W. ; Scheib, M. ; Wiescher, D. ; Oechsner, H. |
| Art des Eintrags: |
Bibliographie |
| Titel: |
Spannungsanisotropie und Struktur von TiN-Schichten |
| Sprache: |
Deutsch |
| Publikationsjahr: |
1998 |
| Verlag: |
Wiley |
| Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: |
Materialwissenschaft und Werkstofftechnik |
| Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: |
29 |
| (Heft-)Nummer: |
9 |
| DOI: |
10.1002/mawe.19980290906 |
| Fachbereich(e)/-gebiet(e): |
16 Fachbereich Maschinenbau |
| Hinterlegungsdatum: |
19 Nov 2008 16:19 |
| Letzte Änderung: |
01 Dez 2023 08:11 |
| PPN: |
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| Export: |
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