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Tiginyanu, I. ; Miao, ; Hartnagel, Hans L. ; Rück, ; Tinschert, ; Ursaki, ; Ichizli, Victoria M. (1996)
Raman and electrical characterisation of n-InP implanted by 630-keV nitrogen.
Conference or Workshop Item
Miao, Jianmin ; Rück, ; Tinschert, ; Hartnagel, (1995)
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Conference or Workshop Item
Miao, Jianmin ; Hjort, ; Hartnagel, ; Schweitz, ; Rück, ; Tinschert, (1995)
Resonant sensors on thin semi-insulating GaAs membranes.
Conference or Workshop Item
Miao, Jianmin ; Hartnagel, ; Tinschert, ; Rück, (1994)
Fabrication of thin semi-insulating GaAs membranes by ion implantation and its application for piezoelectric actuators.
In: Gesellschaft für Schwerionenforschung: Scientific report 1994. - Darmstadt: GSI,1995. S. 185
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