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Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin (2013)
Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung.
Norm, Patent, Standard, Bibliographie
Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin (2011)
Mikrospiegelbauteil, Mikrospiegelvorrichtung mit wenigstens einem Mikrospiegelbauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegelbauteils.
Norm, Patent, Standard, Bibliographie
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