Schlaak, Helmut F. ; Guttmann, M. ; Heckele, M. (2006)
Werkstoffe und Fertigungsverfahren als Innovationsmotor der Mikrosystemtechnik.
In: Potenziale und Trends der Mikro- und Nanotechnik : zum 10-jährigen Bestehen der GMM
Book Section, Bibliographie