Thielemann, Christiane ; Heß, ; Grave, ; Glitz, ; Heß, ; Grave, ; Glitz, (1996)
Ein Chip Silizium Kondensator Mikrophon.
Conference or Workshop Item

Thielemann, Christiane ; Heß, ; Heß, (1996)
Inorganic electret membrane for a silicon-microphone.
Conference or Workshop Item

Kreßmann, Reiner ; Heß, ; Schellin, (1996)
New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers.
Conference or Workshop Item

Kreßmann, Reiner ; Heß, ; Schellin, (1996)
Piezoelektrische Siliziummikrofone.
Conference or Workshop Item

Thielemann, Christiane ; Heß, ; Heß, (1996)
Single-chip condenser microphone.
In: Acta acustica. 82 (1996), No. 1, S. 181
Article

Thielemann, Christiane ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, (1996)
Ultraschall-Mikrophone aus Silizium.
Conference or Workshop Item