Rönneberg, Gerrit (1999)
Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen.
Technische Universität Darmstadt
Ph.D. Thesis, Bibliographie
| Item Type: | Ph.D. Thesis |
|---|---|
| Erschienen: | 1999 |
| Creators: | Rönneberg, Gerrit |
| Type of entry: | Bibliographie |
| Title: | Ein passives Fokusverfahren zur Vermessung von Mikrostrukturen |
| Language: | German |
| Date: | 1999 |
| Place of Publication: | Düsseldorf |
| Publisher: | VDI-Verl |
| Series Volume: | 741 |
| Collation: | XII, 157 S. |
| Edition: | Düsseldorf: VDI-Verl., 1999. XII, 157 S |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:05 |
| Last Modified: | 05 Mar 2013 08:40 |
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