Berg, Günter ; Friedrich, ; Senf, ; Broszeit, ; Kloos, Karl Heinz (1998):
Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 452-458, [Article]
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Creators: | Berg, Günter ; Friedrich, ; Senf, ; Broszeit, ; Kloos, Karl Heinz |
| Title: | Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern |
| Language: | German |
| Journal or Publication Title: | Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 452-458 |
| Divisions: | 16 Department of Mechanical Engineering 16 Department of Mechanical Engineering > Center for Engineering Materials, State Materials Testing Institute Darmstadt (MPA) Chair and Institute for Materials Technology (IfW) |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:05 |
| License: | [undefiniert] |
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