Berg, Günter ; Friedrich, C. ; Senf, Joachim ; Broszeit, Erhard ; Kloos, Karl Heinz (1998)
Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 29 (9)
doi: 10.1002/mawe.19980290903
Article, Bibliographie
| Item Type: | Article |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Creators: | Berg, Günter ; Friedrich, C. ; Senf, Joachim ; Broszeit, Erhard ; Kloos, Karl Heinz |
| Type of entry: | Bibliographie |
| Title: | Lokale Schichterzeugung beim HF-Magnetronsputtern |
| Language: | German |
| Date: | 1998 |
| Publisher: | Wiley |
| Journal or Publication Title: | Materialwissenschaft und Werkstofftechnik |
| Volume of the journal: | 29 |
| Issue Number: | 9 |
| DOI: | 10.1002/mawe.19980290903 |
| Divisions: | 16 Department of Mechanical Engineering 16 Department of Mechanical Engineering > Center for Engineering Materials, State Materials Testing Institute Darmstadt (MPA) Chair and Institute for Materials Technology (IfW) |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:05 |
| Last Modified: | 01 Dec 2023 07:41 |
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