Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission

Bieker, Johannes ; Roustaie, Farough ; Langer, Christoph ; Schreiner, Rupert ; Schlaak, Helmut F.
eds.: Johannes Bieker, Farough Roustaie, Christoph Langer, Rupert Schreiner, Helmut F. Schlaak (2017)
Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission.
MikroSystemTechnik Kongress 2017. München, Unterschleißheim, Deutschland (23.-25. Oktober 2017)
Conference or Workshop Item, Bibliographie

Abstract

In den letzten Jahren wurde am Institut für Elektromechanische Konstruktionen die Fabrikation und Integration von metallischen Nanodrähten und Nanokonen mittels Template-basierter Abscheidung erforscht. Diese Variante der in-situ Abscheidung von metallischen Nanostrukturen bietet eine Vielzahl von Anwendungsmöglichkeiten. Im Rahmen dieses Beitrags werden das Herstellungsverfahren zur Herstellung metallischer Nanokonen vorgestellt. Dies beinhaltet sowohl die Templatepräparation mittels asymmetrischen Ätzens als auch die anschließende Integration mittels galvanischer Abscheidung. Eine Anwendung der metallischen Nanokonen stellt die Verwendung als Feldemitter in der Vakuumelektronikdar. Es werden erste Messungen der Langzeitstabilität des Feldemissionsstromes der metallischen Konen präsentiert.

Item Type:

Conference or Workshop Item

Erschienen:

2017

Creators:

Bieker, Johannes ; Roustaie, Farough ; Langer, Christoph ; Schreiner, Rupert ; Schlaak, Helmut F.

Type of entry:

Bibliographie

Title:

Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission

Language:

German