Lotichius, Jan ; Christmann, Eike ; Asmus, Albert ; Kupnik, Mario ; Werthschützky, Roland (2015)
Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile.
Mikrosystemtechnik Kongress 2015. Karlsruhe (26.11.2015-28.11.2015)
Conference or Workshop Item, Bibliographie
Abstract
In dieser Arbeit wird eine Prüfkammer mit 0,25 l Volumen vorgestellt, die zwischen −10 ◦C bis 150 ◦C temperiert werden kann. Des Weiteren kann ein Druck bis zu 3 MPa oder ein Füllgas eingeleitet werden. Die Kammer wird von zwei Peltier-Elementen temperiert, von denen eines die Kammerwand und das zweite das einströmende Gas temperiert. Ein Zustandsraummodell des Aufbaus wird vorgestellt und die Ermittlung von Parameterwerten anhand der Sprungantwort exemplarisch gezeigt. Eine PI-Reglung mit proportionaler Verstärkung von 3,6 A/K und integraler Verstärkung von 5×10^−3 zeigt eine Temperaturstabilität von 0,5 K.
| Item Type: | Conference or Workshop Item | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| Erschienen: | 2015 | ||||
| Creators: | Lotichius, Jan ; Christmann, Eike ; Asmus, Albert ; Kupnik, Mario ; Werthschützky, Roland | ||||
| Type of entry: | Bibliographie | ||||
| Title: | Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für Mikrobauteile | ||||
| Language: | German | ||||
| Date: | 26 October 2015 | ||||
| Event Title: | Mikrosystemtechnik Kongress 2015 | ||||
| Event Location: | Karlsruhe | ||||
| Event Dates: | 26.11.2015-28.11.2015 | ||||
| Abstract: | In dieser Arbeit wird eine Prüfkammer mit 0,25 l Volumen vorgestellt, die zwischen −10 ◦C bis 150 ◦C temperiert werden kann. Des Weiteren kann ein Druck bis zu 3 MPa oder ein Füllgas eingeleitet werden. Die Kammer wird von zwei Peltier-Elementen temperiert, von denen eines die Kammerwand und das zweite das einströmende Gas temperiert. Ein Zustandsraummodell des Aufbaus wird vorgestellt und die Ermittlung von Parameterwerten anhand der Sprungantwort exemplarisch gezeigt. Eine PI-Reglung mit proportionaler Verstärkung von 3,6 A/K und integraler Verstärkung von 5×10^−3 zeigt eine Temperaturstabilität von 0,5 K. |
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| Alternative Abstract: |
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| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018) 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Measurement and Sensor Technology |
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| Date Deposited: | 04 Nov 2015 13:41 | ||||
| Last Modified: | 04 Nov 2015 13:41 | ||||
| PPN: | |||||
| Export: | |||||
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