Miao, Jianmin ; Rück, ; Tinschert, ; Hartnagel, (1995):
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
In: Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung, 1995, Darmstadt, [Conference or Workshop Item]
| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Creators: | Miao, Jianmin ; Rück, ; Tinschert, ; Hartnagel, |
| Title: | Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen |
| Language: | German |
| Series: | Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung, 1995, Darmstadt |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microwave Electronics |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:01 |
| License: | [undefiniert] |
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