Miao, Jianmin ; Rück, D. M. ; Tinschert, K. ; Hartnagel, Hans L. (1995)
Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen.
Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung. Darmstadt (1995)
Conference or Workshop Item, Bibliographie
| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 1995 |
| Creators: | Miao, Jianmin ; Rück, D. M. ; Tinschert, K. ; Hartnagel, Hans L. |
| Type of entry: | Bibliographie |
| Title: | Herstellung der mikromechanischen Strukturen auf GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen |
| Language: | German |
| Date: | 1995 |
| Place of Publication: | Darmstadt |
| Book Title: | Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung : proceedings |
| Event Title: | Industrie und Forschung: Seminar der Gesellschaft für Schwerionenforschung |
| Event Location: | Darmstadt |
| Event Dates: | 1995 |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microwave Electronics |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:01 |
| Last Modified: | 12 Aug 2024 08:15 |
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