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Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung

Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin (2013):
Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung.
DE 102011104843 (B4),
[Norm, patent, standard]

Item Type: Norm, patent, standard
Erschienen: 2013
Creators: Greiner, Paul Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Quednau, Sebastian ; Staab, Matthias Armin
Title: Mikrospiegelbauteil mit linienförmiger Biegefeder sowie Verfahren zu dessen Herstellung
Language: German
Patent number: DE 102011104843 (B4)
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Microtechnology and Electromechanical Systems
Date Deposited: 18 Feb 2013 15:43
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