Fricke, Conrad (1993)
Beleuchtung für Vakuumgreifer.
Technische Universität Darmstadt
Seminar paper (Midterm), Bibliographie
Abstract
Zusammenfassung:
In der vorliegenden Studienarbeit wurde ein Vakuumgreifer mit integrierter Optik und radialer Positioniereinrichtung zur Handhabung von mikromechanischen Bauelementen realisiert. Leuchtdioden beleuchten die Oberfläche eines Bauelements, welches gegen eine transparente und maskierte Siebstruktur gesaugt wird. Eine CCD- Kamera mit einem Mikroskopobjektiv ermöglicht die Lokalisierung von Passmarken auf dem Bauelement und damit eine Positionierung des gesamten Systems. Die Drehung geschieht direkt durch einen Schrittmotor. Auf einem Kreuztisch montiert ist dieser Greifer ein System, das eine automatisierte und zerstörungsfreie Handhabung von mikromechanischen Bauelementen ermöglicht.
Technische Daten:
* Vergrößerung: 50fach bis 180fach
* Optische Auflösung: kleiner als 6µm
* Größe: 120*100*180mm (L,B,H)
* Radialantrieb: 2-Phasen-Schrittmotor
* Radiale Positioniergenauigkeit: 0,1°
* Unterdruck: 5Pa bis 2000Pa
| Item Type: | Seminar paper (Midterm) |
|---|---|
| Erschienen: | 1993 |
| Creators: | Fricke, Conrad |
| Type of entry: | Bibliographie |
| Title: | Beleuchtung für Vakuumgreifer |
| Language: | German |
| Referees: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Cramer, Prof. Dr.- Bernhard |
| Date: | 2 November 1993 |
| Corresponding Links: | |
| Abstract: | Zusammenfassung: In der vorliegenden Studienarbeit wurde ein Vakuumgreifer mit integrierter Optik und radialer Positioniereinrichtung zur Handhabung von mikromechanischen Bauelementen realisiert. Leuchtdioden beleuchten die Oberfläche eines Bauelements, welches gegen eine transparente und maskierte Siebstruktur gesaugt wird. Eine CCD- Kamera mit einem Mikroskopobjektiv ermöglicht die Lokalisierung von Passmarken auf dem Bauelement und damit eine Positionierung des gesamten Systems. Die Drehung geschieht direkt durch einen Schrittmotor. Auf einem Kreuztisch montiert ist dieser Greifer ein System, das eine automatisierte und zerstörungsfreie Handhabung von mikromechanischen Bauelementen ermöglicht. Technische Daten: * Vergrößerung: 50fach bis 180fach * Optische Auflösung: kleiner als 6µm * Größe: 120*100*180mm (L,B,H) * Radialantrieb: 2-Phasen-Schrittmotor * Radiale Positioniergenauigkeit: 0,1° * Unterdruck: 5Pa bis 2000Pa |
| Uncontrolled Keywords: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, CCD-Kamera, Handhabung mikromechanischer Bauteile, Mikroskop-Objektiv, Positionierung µm-Bereich, Vakuumgreifer |
| Identification Number: | 17/24 EMKS 1087 |
| Additional Information: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1087 Art der Arbeit: Studienarbeit Beginn Datum: 16-11-1992 Ende Datum: 02-11-1993 Querverweis: keiner Studiengang: Elektrotechnik (ET) Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK) Abschluss: Diplom (EMK) |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018) |
| Date Deposited: | 17 Oct 2011 13:24 |
| Last Modified: | 05 Mar 2013 09:52 |
| PPN: | |
| Referees: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Cramer, Prof. Dr.- Bernhard |
| Export: | |
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