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Druckmessung und -regelung für einen elektronischen Unterdruckgreifer

Könekamp, Andreas (1992):
Druckmessung und -regelung für einen elektronischen Unterdruckgreifer.
Technische Universität Darmstadt, [Diploma Thesis or Magisterarbeit]

Abstract

Zusammenfassung:

Im Rahmen der hier beschriebenen Arbeit wurde die Druckmessung für einen Unterdruckgreifer für mikromechanische Baueelemente entwickelt und aufgebaut. Die Druckmessung besteht aus einem Sensor mit nachgeschaltetem Verstärker.

Nach einer Marktanalyse zeichnete sich als geeignetes Sensorprinzip integrierte Siliziumsensoren ab. Vier dieser Sensoren wurden näher untersucht, was zur Auswahl des Sensors KPY32R der Firma Siemens führte. Dieser Sensor wird sowohl zur Unter- als auch Überdruckmessung eingesetzt.

Zur Auswertung des Sensorsignals wurde ein Instrumentenverstärker mit einer umfangreichen Fehlerkompensation aufgebaut. Neben dem statischen Offset mußten insbesondere die temperaturabhängige Offset- und Empfindlichkeitsdrift des Sensors kompensiert werden. Mit einer analogen Kompensationsschaltung gelang es, den Drucksensor selbst zusätzlich als Temperatursensor zu nutzen. Für die Kompensation von Temperaturhysterese und Alterung wurde eine digitale Abgleichschaltung eingesetzt.

Technische Daten:

* Sensor: KPY 32 R (Siemens)

* Druckbereich relativ: -50Pa < p < +100hPa

* zulässiger Überdruck: ±250hPa

* Ansprechzeit: 2ms

* Temperaturbereich: 20°C < T < 70°C

* Ausgangssignal: -5V bis +5V

Fehler:

* Empfindlichkeitsdrift: <0,01%/K

* Offsetdrift: <0,2mV/K

Item Type: Diploma Thesis or Magisterarbeit
Erschienen: 1992
Creators: Könekamp, Andreas
Title: Druckmessung und -regelung für einen elektronischen Unterdruckgreifer
Language: German
Abstract:

Zusammenfassung:

Im Rahmen der hier beschriebenen Arbeit wurde die Druckmessung für einen Unterdruckgreifer für mikromechanische Baueelemente entwickelt und aufgebaut. Die Druckmessung besteht aus einem Sensor mit nachgeschaltetem Verstärker.

Nach einer Marktanalyse zeichnete sich als geeignetes Sensorprinzip integrierte Siliziumsensoren ab. Vier dieser Sensoren wurden näher untersucht, was zur Auswahl des Sensors KPY32R der Firma Siemens führte. Dieser Sensor wird sowohl zur Unter- als auch Überdruckmessung eingesetzt.

Zur Auswertung des Sensorsignals wurde ein Instrumentenverstärker mit einer umfangreichen Fehlerkompensation aufgebaut. Neben dem statischen Offset mußten insbesondere die temperaturabhängige Offset- und Empfindlichkeitsdrift des Sensors kompensiert werden. Mit einer analogen Kompensationsschaltung gelang es, den Drucksensor selbst zusätzlich als Temperatursensor zu nutzen. Für die Kompensation von Temperaturhysterese und Alterung wurde eine digitale Abgleichschaltung eingesetzt.

Technische Daten:

* Sensor: KPY 32 R (Siemens)

* Druckbereich relativ: -50Pa < p < +100hPa

* zulässiger Überdruck: ±250hPa

* Ansprechzeit: 2ms

* Temperaturbereich: 20°C < T < 70°C

* Ausgangssignal: -5V bis +5V

Fehler:

* Empfindlichkeitsdrift: <0,01%/K

* Offsetdrift: <0,2mV/K

Uncontrolled Keywords: Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Drucksensoren, Handhabung mikromechanischer Bauteile, Instrumentenverstärker, Sensorfehlerkompensation
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018)
Date Deposited: 17 Oct 2011 13:18
Additional Information:

EMK-spezifische Daten:

Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate,

Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKD 1080

Art der Arbeit: Diplomarbeit

Beginn Datum: 11-08-1992

Ende Datum: 11-11-1992

Querverweis: 17/24 EMKS 1001

Studiengang: Elektrotechnik (ET)

Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK)

Abschluss: Diplom (EMK)

Identification Number: 17/24 EMKD 1080
PPN:
Referees: Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz
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