Schmeckenbecher, Thomas (1993)
Konzept für einen Montageplatz mikromechanischer Bauelemente.
Technische Universität Darmstadt
Seminar paper (Midterm), Bibliographie
Abstract
Zusammenfassung:
Durch die immer ausgereifteren Strukturierungs-, Ätz- und Verbindungsverfahren steigt die Notwendigkeit eines universellen Montageplatzes, an dem mikromechanische Bauelemente manuell und/oder halb- bzw. vollautomatisch montiert werden können. Die vorliegende Arbeit versucht, dafür ein Konzept zu entwickeln.
Dabei werden technische Gebiete wie Feinwerktechnik, Halbleitertechnik, Leiterplattentechnik, Mikrochirurgie, Dickschichttechnologie und Uhrentechnologie auf ihre Anwendbarkeit bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente untersucht. Insbesondere der Umgang mit kleinen Teilen und ihre Montage sowie die Herstellung kleiner Strukturen stehen im Mittelpunkt dieser Arbeit.
Aus den Ergebnissen dieser Analyse kann festgestellt werden, daß die Montage der mikromechanischen Bauelemente nicht mehr nur die mechanische Montage im herkömmlichen Sinne impliziert, sondern weitgehend in eine chemische Montage übergeht. Darunter wird beispielsweise der Schichtaufbau bzw. die (Unter-) Ätzung der Strukturen durch chemische Reaktionen verstanden.
| Item Type: | Seminar paper (Midterm) |
|---|---|
| Erschienen: | 1993 |
| Creators: | Schmeckenbecher, Thomas |
| Type of entry: | Bibliographie |
| Title: | Konzept für einen Montageplatz mikromechanischer Bauelemente |
| Language: | German |
| Referees: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz |
| Date: | 2 November 1993 |
| Corresponding Links: | |
| Abstract: | Zusammenfassung: Durch die immer ausgereifteren Strukturierungs-, Ätz- und Verbindungsverfahren steigt die Notwendigkeit eines universellen Montageplatzes, an dem mikromechanische Bauelemente manuell und/oder halb- bzw. vollautomatisch montiert werden können. Die vorliegende Arbeit versucht, dafür ein Konzept zu entwickeln. Dabei werden technische Gebiete wie Feinwerktechnik, Halbleitertechnik, Leiterplattentechnik, Mikrochirurgie, Dickschichttechnologie und Uhrentechnologie auf ihre Anwendbarkeit bei der Herstellung mikromechanischer Bauelemente untersucht. Insbesondere der Umgang mit kleinen Teilen und ihre Montage sowie die Herstellung kleiner Strukturen stehen im Mittelpunkt dieser Arbeit. Aus den Ergebnissen dieser Analyse kann festgestellt werden, daß die Montage der mikromechanischen Bauelemente nicht mehr nur die mechanische Montage im herkömmlichen Sinne impliziert, sondern weitgehend in eine chemische Montage übergeht. Darunter wird beispielsweise der Schichtaufbau bzw. die (Unter-) Ätzung der Strukturen durch chemische Reaktionen verstanden. |
| Uncontrolled Keywords: | Elektromechanische Konstruktionen, Mikro- und Feinwerktechnik, Dickschichttechnologie, Halbleiterprozesse Einstieg, Handhabung mikromechanischer Bauteile, Montageplatzgestaltung |
| Identification Number: | 17/24 EMKS 1070 |
| Additional Information: | EMK-spezifische Daten: Lagerort Dokument: Archiv EMK, Kontakt über Sekretariate, Bibliotheks-Sigel: 17/24 EMKS 1070 Art der Arbeit: Studienarbeit Beginn Datum: 06-07-1992 Ende Datum: 02-11-1993 Querverweis: keiner Studiengang: Elektrotechnik (ET) Vertiefungsrichtung: Elektromechanische Konstruktionen (EMK) Abschluss: Diplom (EMK) |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design (dissolved 18.12.2018) |
| Date Deposited: | 17 Oct 2011 13:15 |
| Last Modified: | 05 Mar 2013 09:52 |
| PPN: | |
| Referees: | Henschke, Dipl.-Ing. Felix ; Weißmantel, Prof. Dr.- Heinz |
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