Thielemann, Christiane ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, (1996):
Ultraschall-Mikrophone aus Silizium.
In: Fortschritte der Akustik: DAGA 96; 22. Jahrstagung für Akustik in Bonn. Hrsg.: W. Hess (u.a.) - Oldenburg 1996. S. 464, [Conference or Workshop Item]
| Item Type: | Conference or Workshop Item |
|---|---|
| Erschienen: | 1996 |
| Creators: | Thielemann, Christiane ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, ; Heß, ; Kühnel, ; Glaser, |
| Title: | Ultraschall-Mikrophone aus Silizium |
| Language: | German |
| Series: | Fortschritte der Akustik: DAGA 96; 22. Jahrstagung für Akustik in Bonn. Hrsg.: W. Hess (u.a.) - Oldenburg 1996. S. 464 |
| Divisions: | 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 16:00 |
| License: | [undefiniert] |
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