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Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung

Allebrandt, Daniel (2008)
Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung.
Technische Universität Darmstadt
Ph.D. Thesis

Item Type: Ph.D. Thesis
Erschienen: 2008
Creators: Allebrandt, Daniel
Type of entry: Bibliographie
Title: Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN-Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung
Language: German
Date: 1 January 2008
Place of Publication: Aachen
Publisher: Shaker
Series Volume: 2008,5
Collation: IV, 185 S. : Ill., graph. Darst.
Divisions: 16 Department of Mechanical Engineering
Date Deposited: 20 Nov 2008 08:28
Last Modified: 05 Mar 2013 09:15
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