Bender, Marcus (1998):
Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen.
Darmstadt: 1999. II, 123 S, Darmstadt, Technische Univ. Darmstadt, TU Darmstadt,
[Ph.D. Thesis]
| Item Type: | Ph.D. Thesis |
|---|---|
| Erschienen: | 1998 |
| Creators: | Bender, Marcus |
| Title: | Untersuchungen zur Prozeßparameterabhängigkeit der elektrischen und strukturellen Eigenschaften von magnetrongesputterten Indium-Zinn-Oxid-Filmen |
| Language: | German |
| Place of Publication: | Darmstadt |
| Publisher: | Technische Univ. Darmstadt |
| Edition: | Darmstadt: 1999. II, 123 S |
| Collation: | 123 S |
| Divisions: | 05 Department of Physics |
| Date Deposited: | 19 Nov 2008 15:56 |
| License: | [undefiniert] |
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