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Projektionsobjetiv

Walser, Reinhold
Carl Zeiss SMT GmbH (ed.) (2016):
Projektionsobjetiv.
Oberkochen, Carl Zeiss SMT GmbH, DE 10 2009 047 179 B4,
[Norm, patent, standard]

Abstract

[DE] Um die Gesamttransmission eines Projektionsobjektivs insbesondere für die EUV-Lithographie zu erhöhen, wird ein Projektionsobjektiv (7) zur Abbildung eines in einer Objektebene (5) angeordneten Musters in eine Bildebene (9) mit Hilfe von elektromagnetischer Strahlung (3) aus dem extremen Ultraviolettbereich (EUV), wobei zwischen der Objektebene (5) und der Bildebene (9) mehrere mit Reflexbeschichtungen versehene, abbildende Spiegel (M1–M8) angeordnet sind und wobei mindestens einer der Spiegel (M1–M8) eine gradierte Reflexbeschichtung aufweist, vorgeschlagen, bei dem die gradierte Reflexbeschichtung einen elliptischen, parabolischen oder hyperbolischen Schichtdickenverlauf aufweist.

Item Type: Norm, patent, standard
Erschienen: 2016
Creators: Walser, Reinhold
Title: Projektionsobjetiv
Language: German
Abstract:

[DE] Um die Gesamttransmission eines Projektionsobjektivs insbesondere für die EUV-Lithographie zu erhöhen, wird ein Projektionsobjektiv (7) zur Abbildung eines in einer Objektebene (5) angeordneten Musters in eine Bildebene (9) mit Hilfe von elektromagnetischer Strahlung (3) aus dem extremen Ultraviolettbereich (EUV), wobei zwischen der Objektebene (5) und der Bildebene (9) mehrere mit Reflexbeschichtungen versehene, abbildende Spiegel (M1–M8) angeordnet sind und wobei mindestens einer der Spiegel (M1–M8) eine gradierte Reflexbeschichtung aufweist, vorgeschlagen, bei dem die gradierte Reflexbeschichtung einen elliptischen, parabolischen oder hyperbolischen Schichtdickenverlauf aufweist.

Place of Publication: Oberkochen
Country: Deutschland
Patent number: DE 10 2009 047 179 B4
Divisions: 05 Department of Physics
05 Department of Physics > Institute of Applied Physics
05 Department of Physics > Institute of Applied Physics > Theorie kalter Quantengase, Quantenoptik, Technische Optik
05 Department of Physics > Institute of Applied Physics > Theoretische Quantendynamik
05 Department of Physics > Institute of Applied Physics > Theoretical Quantum Physics Group
Date Deposited: 15 Jun 2021 06:39
PPN:
Export:
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