Item Type: |
Conference or Workshop Item
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Erschienen: |
1998 |
Creators: |
Umbach, Frank ; Langheinrich, |
Type of entry: |
Bibliographie |
Title: |
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen |
Language: |
German |
Date: |
1 January 1998 |
Place of Publication: |
Magdeburg |
Publisher: |
Otto-von Guericke-Univ |
Series: |
Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124 |
Edition: |
Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998 |
Divisions: |
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology |
Date Deposited: |
19 Nov 2008 16:19 |
Last Modified: |
05 Mar 2013 08:42 |
PPN: |
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Export: |
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