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Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen

Umbach, Frank ; Langheinrich, (1998)
Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen.
Conference or Workshop Item

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 1998
Creators: Umbach, Frank ; Langheinrich,
Type of entry: Bibliographie
Title: Entwicklung eines Herstellungsverfahrens für Leiterbahnen großer Querschnittsflächen in Mikrosystemen
Language: German
Date: 1 January 1998
Place of Publication: Magdeburg
Publisher: Otto-von Guericke-Univ
Series: Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik <1998, Magdeburg>: Tagungsbd., S. 117-124
Edition: Magdeburg: Otto-von Guericke-Univ., 1998
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
Date Deposited: 19 Nov 2008 16:19
Last Modified: 05 Mar 2013 08:42
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