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Artikel

Wischmeyer, Frank ; Niemann, E. ; Hartnagel, H. L. (1999)
Improvements of the SiC homoepitaxy process in a horizont cold-wall CVD reactor.
In: Journal of electronic materials, 28
Artikel, Bibliographie

Konferenzveröffentlichung

Wischmeyer, Frank ; Horn, ; Niemann, E. ; Hartnagel, H. L. (1996)
Rastertunnelmikroskopie als Methode zur Untersuchung des Interfaces zwischen CVD-gewachsenem 3C-SiC und Silizium.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Dissertation

Wischmeyer, Frank (2001)
Siliziumkarbid-CVD in Horizontalflussreaktoren mit Substratrotation: Aspekte der Homo- und Heteroepitaxie.
Technische Universität Darmstadt
Dissertation, Bibliographie

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