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Deutsch
Kreßmann, Reiner ; Heß, ; Schellin, (1996)
Piezoelektrische Siliziummikrofone.
Konferenzveröffentlichung
Englisch
Kreßmann, Reiner ; Heß, ; Schellin, (1996)
New results of micromachined silicon subminiature microphones using piezoelectric polymer layers.
Konferenzveröffentlichung
Steinmann, Ralf ; Friemann, ; Prescher, ; Schellin, (1995)
Mechanical behaviour of micromachined sensor membranes under uniform external pressure affected by in-plane stresses using a Ritz method and Hermite polynomials.
In: Sensors and actuators. A48 (1995), S. 37-46
Artikel
Sessler, Gerhard M. ; Schellin, ; Yang, (1995)
Use of ferroelectric polymers in acoustic sensors.
Konferenzveröffentlichung