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2011
Ionescu, E. ; Martinez Crespiera, S. ; Schlosser, M. ; Flittner, K. ; Schlaak, Helmut F. ; Riedel, R. (2011)
Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren.
Mikrosystemtechnik Kongress 2011. Darmstadt (10. - 12.10.2011)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie
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