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Conradi, T. ; Hubenthal, ; Röll, ; Stobiecki, ; Thoma, ; Berg, ; Broszeit, ; Bauer, ; Bock, (1998)
Spannungsanisotropie und Struktur von TiN-Schichten.
In: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 29 (1998), 9, S. 476-483
doi: 10.1002/mawe.19980290906
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