Konferenzveröffentlichung

Pfeiffer, Joachim ; Riemenschneider, R. ; Mutamba, K. ; Peerlings, J. ; Afshar, B. E. ; Baaser, Herbert ; Grunert, D. ; Meissner, P. ; Hartnagel, H. L. (1999)
Indium phosphide based bulked micromachining technology for micromechanically tunable WDM filter applications.
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie