Artikel

Martínez-Crespiera, S. ; Ionescu, E. ; Schlosser, M. ; Flittner, K. ; Mistura, G. ; Riedel, R. ; Schlaak, H. F. (2011)
Fabrication of silicon oxycarbide-based microcomponents via photolithographic and soft lithography approaches.
In: Sensors and Actuators A: Physical, 169 (1)
doi: 10.1016/j.sna.2011.04.041
Artikel, Bibliographie

Konferenzveröffentlichung

Ionescu, E. ; Martinez Crespiera, S. ; Schlosser, M. ; Flittner, K. ; Schlaak, Helmut F. ; Riedel, R. (2011)
Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren.
Mikrosystemtechnik Kongress 2011. Darmstadt (10. - 12.10.2011)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie