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Bergunde, T ; Durst, F ; Kadinski, L ; Makarov, Yu N. ; Schäfer, M ; Weyers, M :
Modelling of growth in a 5 X 3 inch multiwafer metalorganic vapour phase epitaxy reactor.
In: Journal of crystal growth, 145 (1) pp. 630-635.
[Artikel], (1994)

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