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Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren

Dörr, Roland and Schlaak, Helmut F. (2017):
Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren.
In: Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017, In: Mikrosystemtechnikkongress 2017, München, Unterschleißheim, Deutschland, 23.-25. Oktober 2017, [Conference or Workshop Item]

Abstract

In dieser Arbeit wird die Optimierung von elektrothermischen Mikroaktoren auf Basis des Duromers SU-8 2025 vorgestellt. Dabei stehen im Fokus die Maximierung der Aktorauslenkung sowie die Minimierung des parasitären Effekts der Nulllagenverschiebung, die eine erhebliche Störgröße während des Aktorbetriebs darstellt. Die physikalischen Gründe für die Nulllagenverschiebung werden erläutert und experimentell nachgewiesen. Es wird eine bis zu 75 % größere laterale Aktorauslenkung erreicht und die Nulllagenverschiebung wird um ca. 30 % reduziert.

Item Type: Conference or Workshop Item
Erschienen: 2017
Creators: Dörr, Roland and Schlaak, Helmut F.
Title: Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren
Language: German
Abstract:

In dieser Arbeit wird die Optimierung von elektrothermischen Mikroaktoren auf Basis des Duromers SU-8 2025 vorgestellt. Dabei stehen im Fokus die Maximierung der Aktorauslenkung sowie die Minimierung des parasitären Effekts der Nulllagenverschiebung, die eine erhebliche Störgröße während des Aktorbetriebs darstellt. Die physikalischen Gründe für die Nulllagenverschiebung werden erläutert und experimentell nachgewiesen. Es wird eine bis zu 75 % größere laterale Aktorauslenkung erreicht und die Nulllagenverschiebung wird um ca. 30 % reduziert.

Title of Book: Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017
Uncontrolled Keywords: SU-8, elektrothermisch, Aktor, Nulllagenverschiebung, Leistungsoptimierung
Divisions: 18 Department of Electrical Engineering and Information Technology
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design
18 Department of Electrical Engineering and Information Technology > Institute for Electromechanical Design > Microtechnology and Electromechanical Systems
Event Title: Mikrosystemtechnikkongress 2017
Event Location: München, Unterschleißheim, Deutschland
Event Dates: 23.-25. Oktober 2017
Date Deposited: 06 Nov 2017 12:22
Identification Number: ISBN 978-3-8007-4491-6
Alternative Abstract:
Alternative abstract Language
In this work the optimization of electrothermal actuators made of SU-8 2025 is presented. The focus of the paper is the maximization of the displacement of the actuators as well as the minimization of the parasitical effect called zero shift, which disturbs significantly the performance of the actuators. The physical reasons for the zero shift are explained and experimentally proved. The lateral displacement of the actuators is increased up to 75 % and the zero shift is reduced of about 30 %.English
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