Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren

Dörr, Roland ; Schlaak, Helmut F. (2017)
Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren.
Mikrosystemtechnikkongress 2017. München, Unterschleißheim, Deutschland (23.-25. Oktober 2017)
Konferenzveröffentlichung, Bibliographie

Kurzbeschreibung (Abstract)

In dieser Arbeit wird die Optimierung von elektrothermischen Mikroaktoren auf Basis des Duromers SU-8 2025 vorgestellt. Dabei stehen im Fokus die Maximierung der Aktorauslenkung sowie die Minimierung des parasitären Effekts der Nulllagenverschiebung, die eine erhebliche Störgröße während des Aktorbetriebs darstellt. Die physikalischen Gründe für die Nulllagenverschiebung werden erläutert und experimentell nachgewiesen. Es wird eine bis zu 75 % größere laterale Aktorauslenkung erreicht und die Nulllagenverschiebung wird um ca. 30 % reduziert.

Typ des Eintrags:

Konferenzveröffentlichung

Erschienen:

2017

Autor(en):

Dörr, Roland ; Schlaak, Helmut F.

Art des Eintrags:

Bibliographie

Titel:

Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren

Sprache:

Deutsch

Publikationsjahr:

23 Oktober 2017

Ort:

München

Buchtitel:

Proceedings - Mikrosystemtechnik Kongress 2017

Veranstaltungstitel:

Mikrosystemtechnikkongress 2017

Veranstaltungsort:

München, Unterschleißheim, Deutschland

Veranstaltungsdatum:

23.-25. Oktober 2017

Kurzbeschreibung (Abstract):

Alternatives oder übersetztes Abstract:

Alternatives Abstract

Sprache

In this work the optimization of electrothermal actuators made of SU-8 2025 is presented. The focus of the paper is the maximization of the displacement of the actuators as well as the minimization of the parasitical effect called zero shift, which disturbs significantly the performance of the actuators. The physical reasons for the zero shift are explained and experimentally proved. The lateral displacement of the actuators is increased up to 75 % and the zero shift is reduced of about 30 %.

Englisch

Freie Schlagworte:

SU-8, elektrothermisch, Aktor, Nulllagenverschiebung, Leistungsoptimierung

Fachbereich(e)/-gebiet(e):

18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Elektromechanische Konstruktionen (aufgelöst 18.12.2018)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Mikrotechnik und Elektromechanische Systeme

Hinterlegungsdatum:

06 Nov 2017 12:22

Letzte Änderung:

26 Jan 2024 10:24

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