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InGaAs/InP thermoelectric infrared sensor utilizing surface bulk micromachining technology

Dehé, Alfons ; Pavlidis, ; Hong, ; Hartnagel, :
InGaAs/InP thermoelectric infrared sensor utilizing surface bulk micromachining technology.
In: IEEE Transactions on electron devices. 44 (1997), 6, S. 1193-1199
[Artikel], (1997)

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 1997
Autor(en): Dehé, Alfons ; Pavlidis, ; Hong, ; Hartnagel,
Titel: InGaAs/InP thermoelectric infrared sensor utilizing surface bulk micromachining technology
Sprache: Deutsch
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: IEEE Transactions on electron devices. 44 (1997), 6, S. 1193-1199
Fachbereich(e)/-gebiet(e): Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:04
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