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Numerical simulations and microfabrication of a multifunctional AFM-SNOM-sensor

Hahne, P. ; Ehmann, :
Numerical simulations and microfabrication of a multifunctional AFM-SNOM-sensor.
In: Quantitative Microscopy <1997, Wien>: Proceedings .
[Konferenz- oder Workshop-Beitrag], (1997)

Typ des Eintrags: Konferenz- oder Workshop-Beitrag (Keine Angabe)
Erschienen: 1997
Autor(en): Hahne, P. ; Ehmann,
Titel: Numerical simulations and microfabrication of a multifunctional AFM-SNOM-sensor
Sprache: Englisch
Reihe: Quantitative Microscopy <1997, Wien>: Proceedings
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 19 Nov 2008 16:04
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