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Humidity Sensors Based on Photolithographically Patterned PVA Films Deposited on SAW Resonators

Lu, D. ; Zheng, Y. ; Penirschke, A. ; Jakoby, R. (2016)
Humidity Sensors Based on Photolithographically Patterned PVA Films Deposited on SAW Resonators.
In: IEEE Sensors Journal, 16 (1)
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags: Artikel
Erschienen: 2016
Autor(en): Lu, D. ; Zheng, Y. ; Penirschke, A. ; Jakoby, R.
Art des Eintrags: Bibliographie
Titel: Humidity Sensors Based on Photolithographically Patterned PVA Films Deposited on SAW Resonators
Sprache: Deutsch
Publikationsjahr: Januar 2016
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe: IEEE Sensors Journal
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift: 16
(Heft-)Nummer: 1
URL / URN: http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2015.2468082
Freie Schlagworte: electrochemical electrodes;humidity measurement;humidity sensors;photodetectors;photolithography;polymer films;surface acoustic wave resonators;surface acoustic wave sensors;thickness measurement;thin film sensors;PVA film thickness measurement;SAW resonator;anticorrosive gold electrode;contact pad;interdigital transducer pad;photolithographically patterned PVA film deposition;polyvinyl-alcohol film;relative humidity sensor;surface acoustic wave resonator;Bandwidth;Humidity;Resonant frequency;Sensitivity;Sensor phenomena and characterization;Surface acoustic waves;Microwave;SAW resonator;patterned polyvinyl-alcohol film;relative humidity sensor
Fachbereich(e)/-gebiet(e): 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP) > Mikrowellentechnik
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Mikrowellentechnik und Photonik (IMP)
18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik
Hinterlegungsdatum: 21 Mär 2016 12:12
Letzte Änderung: 28 Mär 2017 11:13
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