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Electrical properties of solution processed multilayer high-k ZrO2 capacitors in inert atmosphere

Kaloumenos, Mareiki ; Hofmann, Klaus ; Spiehl, Dieter ; Hoffmann, Rudolf C. ; Precht, Ruben ; Bonrad, Klaus (2016)
Electrical properties of solution processed multilayer high-k ZrO2 capacitors in inert atmosphere.
In: Thin Solid Films, 600
doi: 10.1016/j.tsf.2015.12.068
Artikel, Bibliographie

Typ des Eintrags:	Artikel
Erschienen:	2016
Autor(en):	Kaloumenos, Mareiki ; Hofmann, Klaus ; Spiehl, Dieter ; Hoffmann, Rudolf C. ; Precht, Ruben ; Bonrad, Klaus
Art des Eintrags:	Bibliographie
Titel:	Electrical properties of solution processed multilayer high-k ZrO2 capacitors in inert atmosphere
Sprache:	Englisch
Publikationsjahr:	1 Februar 2016
Verlag:	Elsevier ScienceDirect
Titel der Zeitschrift, Zeitung oder Schriftenreihe:	Thin Solid Films
Jahrgang/Volume einer Zeitschrift:	600
DOI:	10.1016/j.tsf.2015.12.068
Fachbereich(e)/-gebiet(e):	11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft 11 Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaft > Fachgebiet Oberflächenforschung 16 Fachbereich Maschinenbau 16 Fachbereich Maschinenbau > Institut für Druckmaschinen und Druckverfahren (IDD) 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Datentechnik 18 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik > Institut für Datentechnik > Integrierte Elektronische Systeme (IES)
Hinterlegungsdatum:	09 Feb 2016 15:02
Letzte Änderung:	19 Jan 2021 13:46
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